Bei kurzen UV-Wellenlängen sind die in Wellenlängen spezifizierten Eigenschaften schlechter. Bei einer Linse für eine Wellenlänge von 308 nm darf beispielsweise die Unregelmäßigkeitstoleranz nur halb so groß sein wie bei einer Linse für 632,8 nm, wenn die Wellenfrontverzerrung gleich bleiben soll.

Der Beschichtungsprozess muss wesentlich exakter überwacht werden, da schon kleine Produktionsschwankungen im UV-Spektrum zu deutlich größeren Fehlern führen als im sichtbaren oder infraroten Spektrum.

Oberflächenfehler wie Kratzer und Vertiefungen werden bei UV-Licht verstärkt, selbst geringste Oberflächenfehler können zu Streuungen oder Absorptionen führen und damit den Systemdurchsatz verringern. Um Energieverluste zu minimieren, muss die Qualitätsspezifikation der Oberfläche streng eingehalten werden.

Die höhere Energie von UV-Strahlung macht eine Multiphotonen-Absorption wahscheinlicher, wodurch ein sich selbst verstärkender Prozess angestoßen wird, der letztendlich die Optik beschädigt.