Dichroitische Filter für extremes Ultraviolett (EUV)

Die dichroitischen Filter für extremes Ultraviolett (EUV), auch als Strahlseparatoren bezeichnet, wurden für Anwendungen zur Erzeugung hoher Harmonischer entwickelt und bieten eine gute Trenneffizienz zwischen EUV- und NIR-Wellenlängen. Die Filter bestehen aus Quarzglassubstraten und halten höherer Laserleistung stand als die Strahlseparatoren mit Brewster-Winkel und EUV-Filter. Die dichroitischen EUV-Filter haben eine große Bandbreite von 10 nm bis 40 nm. Zusätzlich zur Erzeugung hoher Harmonischer können die Filter auch in EUV-Anwendungen wie EUV-Lithographie oder EUV-Nanotechnologie, der kohärenten diffraktiven Bildgebung sowie für die Erzeugung von ultrakurzen Attosekunden-Pulsen eingesetzt werden.