Vakuumkompatible motorisierte Bühnen von Zaber™

Die vakuumkompatiblen motorisierten Bühnen von Zaber™ wurden für die Integration in Vakuumsysteme entwickelt und sind als Hochvakuumbühnen mit 10^-6 Torr oder als Niedervakuumbühnen mit 10^-3 Torr erhältlich. Die Komponenten des Bühnengehäuses wurden speziell entwickelt, um die Ausgasung von Verunreinigungen in der Vakuumkammer zu begrenzen, die mitgelieferten Schrittmotoren sind für das Wärmemanagement in Hochvakuumumgebungen ausgelegt, und die Bühnen können mit minimalen Kabeldurchführungen an eine Computerschnittstelle angeschlossen werden. Die vakuumkompatiblen motorisierten Bühnen von Zaber™ sind in linearen, 360°-Dreh- und goniometrischen Konfigurationen erhältlich, so dass ein komplettes System mit 6 Freiheitsgraden in einem Vakuum aufgebaut werden kann. Diese Bühnen sind ideal für Anwendungen, die unter Hochvakuumbedingungen arbeiten, wie z. B. die Halbleiterherstellung und -verarbeitung oder optische Beschichtungsprozesse.

Bitte beachten Sie: Es wird ein Zubehörset #75-301 benötigt (separat erhältlich).