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Motorisierte Linearbühne, Niedervakuum (10-3 Torr), 50 mm Verstellweg, integrierter Controller

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Spezifikationen

Produktdetails

Typ:
Metric
Encoder:
No
Manuelle Verstellung / LED-Anzeige:
No/Yes
Hersteller:
Zaber Technologies Inc.
Modellnummer:
X-LSM050A-SV1T9
Hinweis:
Requires Accessory Kit, #75-301, for operation.
Motor:
2-Phase Stepper

Physikalische und mechanische Eigenschaften

Art der Bewegung:
Linear (X)
Führungssystem:
Needle Roller Bearing
Bühnengröße (mm):
173.4 x 101.2
Verstellweg (mm):
50.8
Genauigkeit (μm):
20
Spiel (μm):
<12
Höhe (mm):
21.4
Belastbarkeit (kg):
10
Belastbarkeit (N):
100
Wiederholbarkeit (μm):
<3
Geschwindigkeit (mm/Sek.):
0.000029 - 24
Schubkraft (N):
35
Gewicht (kg):
0.40

Optische Eigenschaften

Auflösung (μm):
0.047

Elektronische Spezifikationen

Strom (mA):
350
Maximaler Betriebsstrom (mA):
350

Anschlussmöglichkeiten Hardware & Schnittstelle

Verstellung:
Lead Screw
Stromversorgung:
24-48 VDC; Power Supply w/US Plug found in accessories kit, #75-301
Computerschnittstelle:
RS-232, USB

Materialeigenschaften

Vakuumkompatibilität:
Low vacuum (10-3 Torr)

Umwelt & Haltbarkeit

Betriebstemperatur (°C):
0 to +50

Konformität mit Standards

RoHS 2015:
Konformitätszertifikat:
Reach 247:

Produktdetails

  • Optionen für Niedervakuum (10-3 Torr) und Hochvakuum (10-6 Torr) verfügbar
  • 360°-Dreh-, Linear- oder Vertikalverstellbühnen sowie Goniometeroptionen erhältlich
  • Gesteuert über minimale Durchführungsdrähte

Die vakuumkompatiblen motorisierten Bühnen von Zaber™ wurden für die Integration in Vakuumsysteme entwickelt und sind als Hochvakuumbühnen mit 10-6 Torr oder als Niedervakuumbühnen mit 10-3 Torr erhältlich. Die Komponenten des Bühnengehäuses wurden speziell entwickelt, um die Ausgasung von Verunreinigungen in der Vakuumkammer zu begrenzen, die mitgelieferten Schrittmotoren sind für das Wärmemanagement in Hochvakuumumgebungen ausgelegt, und die Bühnen können mit minimalen Kabeldurchführungen an eine Computerschnittstelle angeschlossen werden. Die vakuumkompatiblen motorisierten Bühnen von Zaber™ sind in linearen, 360°-Dreh- und goniometrischen Konfigurationen erhältlich, so dass ein komplettes System mit 6 Freiheitsgraden in einem Vakuum aufgebaut werden kann. Diese Bühnen sind ideal für Anwendungen, die unter Hochvakuumbedingungen arbeiten, wie z. B. die Halbleiterherstellung und -verarbeitung oder optische Beschichtungsprozesse.

Bitte beachten Sie: Es wird ein Zubehörset #75-301 benötigt (separat erhältlich).

 

 
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