CaliBall™ Interferometer-Kalibriergerät

Das CaliBall™ wird für die Kalibrierung von Transmissions-Sphären durch den "Random Ball Test" (RBT) verwendet. Der "Random Ball Test" wurde schon früher mit Erfolg angewandt, aber die Materialien der Kugeln haben damals die Genauigkeit der Messungen begrenzt. Da das CaliBall™ aus Siliziumnitrid hergestellt ist, ist das Präzisionsproblem behoben. Die 25 mm Kugeln entsprechen Grad 5 (rund besser als 125 nm), haben eine Oberflächenbeschaffenheit von 1,3 nm RMS, sind opak und reflektieren 11%. Das Caliball™ ist nahezu unzerstörbar und stellt eine praktische, wiederverwendbare Kalibrierlösung dar.

Das CaliBall™ wird mit einer kinematischen Dreikugelhalterung, die in eine Edelstahlbasis gegossen ist, ausgeliefert. Eine Seite der Basis ist weggeschnitten damit f/0,7 Transmissions-Sphären kalibriert werden können. Das CaliBall™ mit Zygo 4" Bajonett-Mount ist gut für horizontale Interferometer-Aufbauten geeignet und benötigt keine zusätzliche X-Y-Z-Halterung. Ein Zertifikat für Rundheit und Oberflächenbeschaffenheit ist inkl. Außerdem wird eine komplette Betriebsanleitung und eine reinraumkompatible Aufbewahrungsbox mitgeliefert.